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極紫(zi)外 (EUV) 球面(mian)反射鏡
簡介：

極紫外 (EUV) 球面反射鏡具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設計，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可最大程度地降低散射。這對 EUV 波長必不可少，因為 EUV 波長的散射比長波長更多. TECHSPEC EUV 球面反射鏡的通帶非常窄，約為 0.5nm，確保只會在高諧波生成 (HHG) 應用中反射 13.5nm 的關注諧波。EUV 球面反射鏡的 典型應用包括相干衍射極紫外 (EUV) 球面反射鏡具有多層鉬/硅鍍膜，在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它們專為 5o 入射角設計，并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3? RMS，可最大程度地降低散射。這對 EUV 波長必不可少，因為 EUV 波長的散射比長波長更多. TECHSPEC 成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 納米加工.
無相(xiang)關(guan)文檔(dang)
產品詳情

產品特點

  • 超拋光(guang)基(ji)片上的(de)鉬/硅(gui)多(duo)層鍍膜
  • 13.5nm 下可實現的最(zui)大(da)反射(she)
  • 設計(ji)用(yong)于(yu) EUV 光束聚焦應用(yong)
  • 適(shi)用于 HHG 應用的(de)窄(zhai)通(tong)帶

設計波長 DWL (nm

直徑(jing) (mm)

有效焦距

EFL (mm

產品編號

單價(jia)（元）

13.5

25.40 +0.00/-0.13

250

#11-730

31450





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